[光學(xué)平臺]光學(xué)氣浮平臺組成、測量方法介紹！

 

    一、光學(xué)平臺的結(jié)構(gòu)組成

    1、優(yōu)質(zhì)平臺和面包板應(yīng)具有全鋼結(jié)構(gòu)，包括厚5毫米的頂板和底板，以及厚0.25毫米的精密加工的焊接鋼制蜂窩芯。蜂窩芯通過精確的壓膜工具制成，通過焊接平墊片保證其幾何間距。

    2、熱穩(wěn)定性的關(guān)鍵之處在于各軸方向上都具有對稱、各向均勻的鋼制結(jié)構(gòu)。鋼制部件在熱交換過程中的延伸性和收縮性是相似的，可以在溫度變化過程中保持良好的平整度。

    3、鋼制的蜂窩芯結(jié)構(gòu)從頂板延伸到底板，中間并無塑料或鋁質(zhì)泄露管理結(jié)構(gòu)，因此不會降低平臺整體的剛度或是引入更高的熱膨脹系數(shù)。我們采用鋼質(zhì)側(cè)板，這樣就消除了由于濕度而引起的環(huán)境不穩(wěn)定因素。

    4、自動化加工系統(tǒng)平臺和面包板的特殊之處是采用自動軌道機械啞光表面加工，比老舊的平臺產(chǎn)品更加平滑、平整。這些平臺經(jīng)過改善的表面拋光處理后，表面平整度在1平方米，為安裝部件提供了接觸表面。

    二、光學(xué)平臺的測量方法

    1、用脈沖錘對平臺或面包板的表面施加一個已測量的外力，并將一個傳感器貼合在平臺或面包板表面對合成振動進行測量。探測器發(fā)出的信號通過分析儀進行讀取，并用于產(chǎn)生頻率響應(yīng)譜。

    2、光學(xué)平臺的研發(fā)過程中，對平臺表面上很多點的柔量曲線進行記錄；但是，平臺四個角上的柔量往往都是最大的。因此公司發(fā)布的柔量曲線和數(shù)據(jù)都是通過平傳感器在臺四個角上測得的。

    3、產(chǎn)品都需經(jīng)過獨立測試，并附帶一份單獨的測試數(shù)據(jù)報告和柔量曲線。這樣一來，就可以提供比采用單一尺寸柔量曲線表示所有產(chǎn)品特性的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)更數(shù)據(jù)。

    4、量曲線和數(shù)據(jù)是光學(xué)平臺的兩個比較重要的指標(biāo)，量曲線和數(shù)據(jù)都是通過平傳感器在臺四個角上測得的，因此說明了最不理想情況下的數(shù)據(jù)結(jié)果。

    三、光學(xué)隔振平臺作用

    振動來源主要分為來自系統(tǒng)之外的振動和系統(tǒng)內(nèi)部的振動。地面固有振動，工作人員踩踏地板以及開、關(guān)門或墻壁碰撞等通過地面?zhèn)鱽淼恼駝泳鶎傧到y(tǒng)之外的振動，這一類振動需通過光學(xué)平臺的隔振腿衰減;而來自系統(tǒng)內(nèi)部的振動包括儀器振動、氣流、冷卻水流等，則需依靠光學(xué)平臺的桌面阻尼來隔絕。

    固有頻率

    固有頻率，顧名思義，為系統(tǒng)本身發(fā)生的振動的頻率。數(shù)值上來看，固有頻率等于共振頻率?？紤]物塊與彈性懸臂梁組成的系統(tǒng)，固有頻率取決于兩個因素——物塊質(zhì)量，以及充當(dāng)彈簧的彈性懸臂梁的彈性系數(shù)。質(zhì)量減小或彈性系數(shù)減小可增大固有頻率;質(zhì)量增大或懸臂梁彈性系數(shù)增大可降低固有頻率。

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